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武漢MSDP單極脈衝磁控(kòng)濺射電源

武漢MSDP單極脈衝磁控濺射電源

  • 所屬(shǔ)分類:武漢MSDP單極脈衝(chōng)磁控濺射電源
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2020-10-21 09:43:33
  • 產品概述
  • 性(xìng)能特點
  • 技術參數

主要型號:

型號

功率

(kW)

最大工作

電流(A)

外形

尺寸

冷卻

方式

空(kōng)載電壓

(V)

工作(zuò)電壓

(V)

MSDP-10k

10

12.5

1單(dān)元



風冷



1000



200~800V

MSDP-20k

20

25

1單元

MSDP-30k

30

37.5

2單元

MSDP-40k

40

50

2單元


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主要特點:
   A 明顯改善靶麵電荷積累現象,減小濺射表麵的打火次數,提高膜層質量。
   B 具有(yǒu)平均電源穩定功能,具(jù)有理想的電壓(yā)陡降特(tè)性,
充分滿足磁控濺射工(gōng)藝過程的連續性。
   C 空載電壓≥1000V,工作電壓(yā)200~800V。
   D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
   E 可選擇手動控製/模擬量接口控製,可選(xuǎn)配RS485通訊接口。
采用先(xiān)進的PWM脈寬調製技術,使用進口IGBT或(huò)MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重量(liàng)輕、功能全、性能(néng)穩(wěn)定可靠,生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝的重複性(xìng),
並且具有抑製靶材弧(hú)光放電(diàn)及抗短路(lù)功(gōng)能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩(wěn)定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調(diào)節(jiē);
方(fāng)便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方(fāng)便實(shí)現自動化(huà)控製。


主要用途:

單極(jí)脈衝磁控濺射適用於金屬、合金及石墨等靶(bǎ)材鍍製金屬膜、碳膜和部分(fèn)氧化物、氮化物及碳化物膜。


鏡片在接受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗要求很高,達到分子級。在清洗槽中分別放置各種清洗液,並采用超(chāo)聲波加強(qiáng)清洗效果,當鏡片清(qīng)洗(xǐ)完後,放進真空艙內,在此過程中要(yào)特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內,在此過程中要特(tè)別注意避免空氣中的(de)灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內(nèi)鍍前進行的,放置在真(zhēn)空艙內的離子槍(qiāng)將轟(hōng)擊鏡片的(de)表麵(例如用氬離子),完成此道清洗工序後即進行減反射膜的鍍膜。

真空鍍膜電(diàn)源為什麽在(zài)現在會應用那麽多呢,有哪些明顯的效果?

真空鍍膜(mó)電源

概念的區別:

1、真空鍍膜是指在高真空的(de)條件下(xià)加熱金屬或非金(jīn)屬材料,使其蒸發(fā)並凝結於鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜(mó)的一種方法。例如,真空鍍(dù)鋁、真空鍍鉻等。


2、光學鍍膜是指在光學零件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(或(huò)介質)薄膜的工藝過程。在光(guāng)學零件表麵鍍膜的目的是為了達到減少或增加光的反射、分束、分色、濾(lǜ)光、偏振等要(yào)求。常用的鍍(dù)膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種(zhǒng))和(hé)化(huà)學鍍膜。


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