當前標簽：中頻磁控濺射電源
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主要型（xíng）號：型（xíng）號功（gōng）率（lǜ）(kW)最大（dà）工（gōng）作電流(A)外（wài）形尺寸冷卻方式空載電壓（yā）(V)工作電壓(V)MSDP-10k1012.51單元風（fēng）冷1000200~800VMSDP-20k20251單元MSDP-30k3037.52單元MSDP-40k40502
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