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真(zhēn)空(kōng)鍍膜電源廠家
北京MSDP單極脈衝磁控濺射電源

北京MSDP單極脈(mò)衝磁控濺射電源

  • 所屬分類:北京MSDP單極脈衝磁控濺射電(diàn)源
  • 瀏覽(lǎn)次數:
  • 發布日期:2020-10-21 09:43:33
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

主要型號:

型號

功率

(kW)

最大工作

電(diàn)流(A)

外形

尺(chǐ)寸

冷卻

方式

空載電壓

(V)

工作電壓

(V)

MSDP-10k

10

12.5

1單元



風冷



1000



200~800V

MSDP-20k

20

25

1單元

MSDP-30k

30

37.5

2單元

MSDP-40k

40

50

2單元


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主要特點:
   A 明顯改善靶麵電(diàn)荷積累現象,減小濺射表麵的打(dǎ)火次數,提高膜層質量。
   B 具有平均電源穩定功能,具有理想的電壓陡降特性,
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
   C 空載電(diàn)壓≥1000V,工作電壓200~800V。
   D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
   E 可選擇手動控製/模擬量接(jiē)口控製,可選配RS485通訊接口。
采用先進的(de)PWM脈寬調製(zhì)技術,使用進口IGBT或MOSFET作(zuò)為功率開關器件,
體(tǐ)積小、重量輕、功能全、性能穩(wěn)定可靠,生產工藝(yì)嚴格完善。
該係列產品采(cǎi)用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力(lì),既保證了靶麵清洗工藝的穩(wěn)定(dìng)性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節;
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化(huà)控製。


主要用途:

單極脈衝磁控濺射(shè)適用於金屬(shǔ)、合金及石墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和(hé)部分氧化物、氮(dàn)化物及碳化(huà)物膜。


鏡片在接受鍍膜前必須進行預清洗(xǐ),這種清洗要求(qiú)很高,達到分子級。在清洗槽中分別放置(zhì)各種清洗液,並采用(yòng)超聲波(bō)加強清洗效果,當鏡片(piàn)清洗完後,放進真空(kōng)艙內,在(zài)此過程中要特別注意(yì)避(bì)免空(kōng)氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的(de)清洗是在真空艙內,在此過程中(zhōng)要特別注意(yì)避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片(piàn)表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前進(jìn)行(háng)的,放置(zhì)在真空艙內的離子(zǐ)槍將轟擊鏡片的表麵(例如用氬離子),完(wán)成此道(dào)清洗工序後即(jí)進(jìn)行減(jiǎn)反射膜的鍍膜(mó)。

真(zhēn)空鍍膜電源為(wéi)什麽在現在會應用那麽多呢,有哪些明顯的效(xiào)果(guǒ)?

真空鍍膜電源

概念的區別:

1、真(zhēn)空鍍膜是(shì)指在高真空的條件下加(jiā)熱金屬或非金屬材料,使其(qí)蒸發並凝結於鍍件(金(jīn)屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真(zhēn)空鍍鉻(gè)等。


2、光學鍍膜是指在光學零(líng)件表麵(miàn)上鍍(dù)上一層(或多層)金屬(或介質)薄膜的工藝過程。在光學零件表麵鍍膜的目的(de)是為了(le)達(dá)到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等(děng)要求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。


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