江蘇MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要特（tè）點：
   A 采用先（xiān）進的電（diàn）流型開關電源技術，減小輸（shū）出儲能元件，
同（tóng）時提高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁（lǚ）靶鍍膜（mó）優勢（shì）更為明顯。
   B 具備恒流（liú）/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模式，
更能保證鍍膜（mó）工藝的重複性。
  C 具有理想的電（diàn）壓陡降特性，自動識別偽打火現（xiàn）象，
充分（fèn）滿足磁控濺（jiàn）射工藝過程的連（lián）續性。
  D 可（kě）選（xuǎn）擇手動控製/模擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相對生產（chǎn）型設（shè）備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進的PWM脈（mò）寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小（xiǎo）、重量輕、功能全、性能穩定可（kě）靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先（xiān）進的DSP控製係統，充分保（bǎo）證鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製（zhì）靶材（cái）弧光放電及抗短路功能，
具有極佳的負載（zǎi）匹配能力，既保證（zhèng）了靶麵清洗工（gōng）藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均可大範圍連續（xù）調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口（kǒu）擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用（yòng）途：

直流（liú）磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的（de）故（gù）障現象分析及排除，在實際使（shǐ）用的過程中（zhōng），真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分（fèn）的故障（zhàng）較多，也比較複雜，下麵就幾種典型（xíng）的故障進行分（fèn）析（xī）。

1、增加電子束流時，高壓沒有指示

真空（kōng）鍍膜機在正（zhèng）常工作的時候，設備的主開關電路中的（de）開關管處於飽和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的（de）時候，柵極得到正偏（piān）壓50V，高壓（yā）指示6kV（或10kV）。從檢測電路上（shàng）得到的電壓控製信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情（qíng）況下，增加（jiā）束流時，由於（yú）束斑的位置不在中心，電子束（shù）可能（néng）會打到坩堝的邊緣（yuán），或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原（yuán）因（yīn），都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造成電子束流大於（yú）預定的值，主開關管處於截止狀態，承受全（quán）部的高壓，讓高壓無法輸出（chū）。由於打火而造成束流過大（dà）的時候，在電流檢測電路時取得的過流信號，使得穩壓（yā）管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的情況下，即使有束（shù）流高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓（yā）指示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正（zhèng）常情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會出現這（zhè）種現象。為了便於（yú）排查，先將高壓電源和負載（zǎi）分開，如果問題還在（zài），就證明（míng）問題（tí）不在負載那方麵，而是在高壓電源那方麵，高壓電源是由高壓部分和（hé）自動電源的主開關管進行切斷的（de）。當有束流時，高壓指示頻繁的擺動，就是高壓出（chū）現連續性的過流打火，自動複（fù）位部分就開始（shǐ）運行（háng），使得高壓電源的主開關管始（shǐ）終處在切（qiē）斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實（shí）際的修理過程（chéng）中（zhōng）發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內有（yǒu）汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁（bì）上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的情（qíng）況下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得主開關管不停的導通和截止，高壓指示就不穩（wěn）定了。消除這種故障，可先（xiān）將電子槍、坩鍋、高壓（yā）電極進行（háng）徹底地清洗，如味故（gù）障還（hái）沒有補消（xiāo）除，再將鍾罩內所（suǒ）有的器件和鍾（zhōng）罩內壁進行徹底的（de）清洗，故障就會被消除，高壓指示就（jiù）不會在頻繁的擺動了。