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真空鍍膜（mó）是一種通過物（wù）理方法生產薄膜材料的技術。在真空（kōng）室中，材料的原子從加熱源中分離出來，撞擊在被（bèi）鍍物體的（de）表麵上。真空鍍膜機在正常工作情況下，通電時必須先打開水管，工作中要隨時注意水壓。
真空鍍膜電源（yuán）在離子轟擊（jī）蒸發過（guò）程中，要特別注意高壓線接頭，不要觸碰，以防（fáng）觸電。用電子槍鍍膜時，應（yīng）在鍾罩外圍（wéi）放一塊鋁板。觀察窗（chuāng）的玻璃好是鉛（qiān）玻璃，觀察時應（yīng）佩戴鉛玻璃眼鏡，防止X射線對人體造成傷害（hài）。
在鍍多層介質膜的鍍層室內，應安裝通風除塵裝置，及時清除有害粉塵（chén）。易燃、有毒物品應妥善保管，防止火災中毒。酸洗夾具應在通風設備中進行，並應戴上橡膠手套。將零件放入酸洗或堿（jiǎn）洗槽時，應輕（qīng）拿輕放，不得碰撞、濺水。通常酸（suān）洗槽應加蓋。
真空鍍膜有蒸發鍍膜、濺射鍍（dù）膜和離子鍍三種形（xíng）式：當濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表麵時，可以獲得固體表麵（miàn）的粒子。能量從表麵逸出並沉積在基（jī）板上；離子鍍蒸發物質的分（fèn）子通過電子撞擊（jī）被電離，並以離子的形式（shì）沉積在固體表麵。所有三種形（xíng）式（shì）的真空鍍膜技術都需要（yào）快速（sù）冷（lěng）卻裝置來（lái）輔助真空鍍膜過程。
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