武漢MSD係列小功率直（zhí）流（liú）磁控濺射電（diàn）源

主要型號：

主要特點：
   A 采（cǎi）用先進的電流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製打火及重啟速（sù）度，應用在鋁靶鍍（dù）膜優勢更為明顯。
   B 具（jù）備恒流/恒功率模（mó）式可選。恒功率模式相對（duì）於傳統（tǒng）的恒流模式，
更能保證（zhèng）鍍（dù）膜工（gōng）藝的（de）重複性。
  C 具有理想的電（diàn）壓陡降特性（xìng），自動識別偽打火現象（xiàng），
充分滿（mǎn）足（zú）磁控濺射工藝過程的連續性（xìng）。
  D 可選擇手動控製/模（mó）擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設（shè）備定製，相對生產型設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和（hé）降低（dī）成本
采（cǎi）用先進的PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生（shēng）產工藝嚴格完善。
該係列產（chǎn）品采用先進的DSP控製係統（tǒng），充分保證鍍膜工藝（yì）的重複性，
並且具有（yǒu）抑製靶材弧光放電及抗短路（lù）功能（néng），
具有極佳（jiā）的負載匹配能力，既保證了（le）靶（bǎ）麵（miàn）清（qīng）洗工藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速（sù）度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護（hù），可靠性（xìng）高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自（zì）動化控製。

主（zhǔ）要用途：

直流磁控（kòng）濺射用於鍍製各種金屬（shǔ）。

真（zhēn）空（kōng）鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使用的過（guò）程中，真空鍍膜（mó）機就出現過不少故（gù）障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種典型的故障進行分析。

1、增加電（diàn）子束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設（shè）備（bèi）的主開關電路中的開（kāi）關管處於飽和的導通狀（zhuàng）態（tài），當管壓下降保持（chí）在100V左右（yòu）的時候，柵極得到正偏壓50V，高（gāo）壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控製信號不（bú）足以使穩壓管擊穿導（dǎo）通。在不正（zhèng）常的（de）情況下（xià），增加束流時，由於束斑的位置（zhì）不在中心，電子束可（kě）能會打到坩堝的邊緣，或者束斑的位置（zhì）在（zài）中心，但蒸鍍的材料被（bèi）打穿等原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造成電子束流（liú）大於預定的值，主開關管處於（yú）截止狀態，承受全部的高壓，讓高（gāo）壓（yā）無法輸出。由於打火而造成束流過（guò）大的時候，在電流（liú）檢測電路時取得的過（guò）流信號，使得穩壓管被擊（jī）穿（chuān）導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的情況下，即使（shǐ）有束流高壓指示（shì）也應該是穩定的，無束（shù）流時高壓指示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問（wèn）題都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負載分開（kāi），如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高（gāo）壓電源那方麵，高壓電（diàn）源是由高壓部分和自動電源的主（zhǔ）開關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁的擺動，就是高壓出現連續性的過（guò）流打火，自動複位部分（fèn）就開始運行，使得高壓電源的主開關（guān）管始終處在切斷和導通這兩種狀態，反映（yìng）在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實際的修理過（guò）程中發現，有時會出（chū）現這種故障並不是（shì）由於高壓電源內部的原因，而是（shì）真空室內有（yǒu）汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了（le）許多蒸鍍的（de）材料。在有束流的情況下，會產生二（èr）次、三次電子，從（cóng）而產生較大的假束流，使得（dé）主開關管不（bú）停的導通和截止，高壓指示就不穩定了（le）。消除這種故障，可先將（jiāng）電子槍、坩鍋、高壓（yā）電極（jí）進行徹底地清洗，如味故障還沒有（yǒu）補消除，再將鍾罩內所有（yǒu）的器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障就會被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。