上海MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型（xíng）開關電源技術，減小輸（shū）出儲能元件，
同時提（tí）高（gāo）了抑製打（dǎ）火及重啟（qǐ）速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒（héng）功率模式可選。恒功率模式相對於傳統（tǒng）的恒流（liú）模式，
更能保證鍍膜工藝的重複性。
  C 具有理想（xiǎng）的電壓陡降（jiàng）特性，自動識別偽（wěi）打火現象，
充分滿足（zú）磁控濺（jiàn）射（shè）工藝過（guò）程的連續性。
  D 可選擇手動控（kòng）製/模擬（nǐ）量接口（kǒu）控製，可選配RS485通訊（xùn）接口。
  E 專門（mén）為試驗型真空設（shè）備定（dìng）製，相對生產型設備的直流磁控濺（jiàn）射電源（yuán），
為客（kè）戶減小電源體積和降低成（chéng）本
采用先進的PWM脈寬調製技術，使用進（jìn）口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小（xiǎo）、重量輕、功能全（quán）、性能穩（wěn）定（dìng）可靠，生產工（gōng）藝嚴格完善。
該係（xì）列產品采用先進的DSP控製係統，充（chōng）分保證鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電（diàn）及抗短路功能，
具有極佳的負載匹配能力（lì），既保證了靶麵（miàn）清洗工（gōng）藝的穩定性，又提高了靶麵（miàn）清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和（hé）RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主（zhǔ）要用途（tú）：

直（zhí）流磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空（kōng）鍍膜電源的故障現象分析及排除（chú），在實際使用的過程中，真空鍍膜（mó）機就出現（xiàn）過不少故障，其中高壓電源部（bù）分的故障較多，也比（bǐ）較（jiào）複（fù）雜，下麵就幾種典型（xíng）的故障進行分析。

1、增加電子（zǐ）束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的開關管處於飽和的（de）導通狀（zhuàng）態，當管壓下降保持在100V左（zuǒ）右的時候（hòu），柵極（jí）得（dé）到正（zhèng）偏壓50V，高壓指示（shì）6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控製信號不足以使穩壓（yā）管擊（jī）穿（chuān）導通。在不正常的情況下，增加束流時，由於束斑的位置不在中（zhōng）心，電子束可能（néng）會打到坩（gān）堝的邊緣，或者束斑的位置在中（zhōng）心，但蒸鍍的材料（liào）被打穿等原（yuán）因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓（yā）輸出被近似（sì）短路（lù），造成電子束流大於預定的值，主開（kāi）關管處（chù）於截止狀態，承受全部的高（gāo）壓，讓高壓無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測電路時取得的過流信號，使得（dé）穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀（zhuàng）態，這時高壓就沒有（yǒu）指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的情況下，即使（shǐ）有束流高壓指示也（yě）應該是（shì）穩定的，無束流時高壓（yā）指示（shì）不穩定（dìng），高（gāo）壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上分析，高壓電源（yuán）和負（fù）載有問題都會出現這種現象。為了便於排查（chá），先將高壓電源和負（fù）載分開，如（rú）果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是（shì）在（zài）高壓電源那方麵（miàn），高壓電源是由（yóu）高（gāo）壓部分和（hé）自動電源（yuán）的主開關管進（jìn）行切斷的。當有束流（liú）時（shí），高壓指示頻繁的擺動，就是（shì）高壓出現連續性的過流打火，自動複位部分就開始運行，使得高壓電（diàn）源的主開（kāi）關管始終處在切斷和導通這兩種狀態，反映（yìng）在（zài）高壓表上的指針就金頻繁（fán）的擺動。在實際的修理過程中發（fā）現（xiàn），有時會出現這種故障並不是由於高壓電源內（nèi）部的原因（yīn），而是真空室（shì）內有汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上（shàng）聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的情況下，會產生（shēng）二次、三次（cì）電子，從而產（chǎn）生較大的假束流，使得主開（kāi）關管不停（tíng）的導通和截止，高（gāo）壓指示就不（bú）穩定（dìng）了。消除這種故障，可先將電（diàn）子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味（wèi）故（gù）障還沒有補消除，再將鍾罩內所有的器件和鍾（zhōng）罩內壁進行徹（chè）底的清洗，故障就會被消除，高（gāo）壓指示就不會在頻繁的擺動了。