射頻、直流和脈(mò)衝直流(liú)電源選(xuǎn)擇:客戶可根據(jù)自身工藝特點選擇不同類型的等離子電源。Advanced Energy 提供射頻、直流和脈衝直流等多種類型的等離子電源產品,其脈衝和直流電源係統可在極端電弧條件下提供穩定的(de)功率輸(shū)送(sòng),適用於高度可重複的薄膜沉積工藝。
阻抗(kàng)匹(pǐ)配網絡定製:等離子電源的阻抗匹配網(wǎng)絡可以(yǐ)根據電源和負載(zǎi)的特性進行定製,以確保從電源至等離子體的最佳穩定功率傳輸。通快霍廷格的 TruPlasma Match 1000 (G2/13) 係列阻抗匹配器(qì)可作為電源與工藝流程間的鏈節,與電源準確協調,實現最佳的阻抗適配。
集成係(xì)統(tǒng)定製:將等離子電源與其(qí)他相關設備(bèi)集成在(zài)一起,形(xíng)成定製化的解決方案(àn)。Advanced Energy 的集成係統將各種(zhǒng)產品組合在一(yī)起,為不同行業(yè)的等離子體工藝提供了定(dìng)製化的整(zhěng)體解決方案,確保工藝質量的一致性和提(tí)高生產效率。