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ISPC離子源電源的功能介（jiè）紹

2023-06-12

ISPC離子源電源是一種專門為離子束蝕刻、沉積、熔合等工藝而設計（jì）的高頻（pín）電源。它具有以下幾個主要功能：高頻發生器：ISPC離子（zǐ）源電源內置高頻發生器，能（néng）夠提供高頻電場，使離子源中的氣體分子被電離形成離（lí）子束。穩定（dìng）性強：該電源采用先進（jìn）的（de）控製技（jì）術和傳

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